气浮光学平台是一种基于气浮技术的高精度光学平台。其工作原理是通过在平台上加压气体,使光学元件与平台之间产生气浮效应,从而实现高精度的平移、旋转和定位。
具体来说,气浮光学平台由平台本体和气体调节系统两部分组成。平台本体上固定有光学元件,如反射镜、透镜等。气体调节系统通过调节气压来控制气浮平台的运动状态,使平台上的光学元件保持平稳的运动轨迹。
当气压适当时,气浮光学平台能够实现毫米级的平移和旋转精度,并且具有较高的稳定性和重复性。此外,气浮光学平台还具有不受外力干扰、无摩擦、无磨损等特点,因此在高精度光学系统、半导体加工设备、精密测量仪器等领域得到广泛应用。