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·台面为三层夹心蜂窝状支撑结构,采用Icr17高导磁不锈钢·隔振材料采用精密型专业阻尼减振器和国标级阻尼隔振垫·固有频率最小可达3Hz,减震性能强·可根据客户需求定制异型(L字型、T字型、V字型等)精密光学平台
·平面度不大于0.05mm/㎡·表面粗糙度小于0.8um~1.6um·固有频率3Hz~6Hz·振幅不大于5um·重复定位精度+0.05mm
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